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机械泵工作的基本原理是利用转子,将机械泵的工作空间周期性的压缩和膨胀,从而排出容器中的气体(经导管流入机械泵中的)。机械泵按结构特征可分为旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、多片式直空泵和双转子真空泵(罗茨泵)等。目前在我国电子工业生产中,应用较多的是旋片式真空泵。大路通给出了旋片式真空泵的结构。我国目前常用的机械泵的规格机械泵工作性能的好坏,受很多因素的形响,如结构形状、加工梢度、机械泵油的性能、工作环境、被抽气体种类和机件磨损情况等。
不同品质的控制阀,其故障发生频率以及故障原因会有很大差别。控制阀的工作条件比较复杂,因此控制阀的故障现象多种多样。一般来说,致使控制阀发生故障的原因主要有四种类型:选型错误、安装不当、使用欠妥、疲劳损坏。各个仪表附件控制着控制阀的工作。多种原因可能导致阀门出现同一故障。造成控制阀常见的填料外漏或者阀门内漏的原因,可能有数十种。在进行故障分析时要避免头痛医头、脚痛医脚、劳而无功。否则将会造成短期内同一故障的反复出现,后归咎于阀门质量问题,更换新的阀门,造成不必要的浪费。
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