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同时由于洁净室内人员流动，洁净室内门窗频繁开、启，洁净室内原有密封性能降低，严重漏风后都影响到洁净室内原有压差的建立。针对以上的问题。为保证洁净室室内始终保持一定的压差，须采取一定措施来维持室内正压。在回风口装空气阻尼层；排风管装电动密闭阀中效过滤器；余压阀，一般设在洁净室下风侧墙壁，采取此种措施时要求室内须有足够的剩余风量；调节回风阀或排风阀；调节新风阀；风机、风阀联锁控制；定期更换一些必要的过滤器。
因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~3mmHg下长期工作。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。
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