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目前使用各类介电材料制造的臭氧发生器市场上均有销售，其性能各有不同，玻璃介电体成本低性能稳是人工制造臭氧使用早的材料，但机械强度差。陶瓷和玻璃类似但陶瓷不宜加工特别在大型臭氧机中使用受到限制。搪瓷是一种*介电材料，介质和电极于一体机械强度高、可精密加工精度较高，在大中型臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。
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机械密封出现损坏的情况较多，常见的损坏形式主要有腐蚀损坏、热损坏和机械损坏。其中腐蚀损坏危害性较大，由于机械密封特殊的结构形式及工作环境和条件不同，腐蚀损坏的形态也多种多样。金属环腐蚀，表面均匀腐蚀。如果金属环表面接触腐蚀介质，而金属本身又不耐腐蚀，就会产生表面腐蚀，其现象是泄漏、早期磨损、破坏、发声等。金属表面均匀腐蚀有成膜和无膜两种形态，无膜的金属腐蚀很危险，腐蚀过程以一定的速度进行，这主要是选材错误造成的。
用泵输送液体，迫使液体以较高流速流过加热元件，使流动与传热、汽液分离等功能分开。所以强制循环蒸发器的适应性较强。但强制循环系统的造价较贵，并增加运转与维护的费用，所以要在权衡利弊之后，经过经济衡算，才能做出抉择。液体在加热管内的循环流速通常在1.2-3.m/s范围之内（当悬浮液中晶粒多，所用管材硬度低，液体粘度较大时，选用低值），过高的流速将耗费过多的能量，且增加系统的磨损。加热元件可以是立式单程加热或立式双程加热，也可以是卧式双程加热。
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