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是将流量传感器功能、比例控制功能、阀功能单元化，进行必要流量控制的设备。
【IO-Link对应】
通过IO-Link通信可进行数据收集并且可进行从上一级的远程操作。
【检测系统异常（预防维护）】
除检测传感器、电磁比例阀老化的自我检测外，还检测包括周边系统在内的异常。
通过IO-Link输出警告。
【适用流体、流量范围】
空气、氮气：0.015～50ℓ/min
氩气：0.015～50ℓ/min
氧气、管道燃气、甲烷、丙烷：0.015～10ℓ/min
氢气、氦气：0.06～20ℓ/min
【搭载控制状态一目了然的数字显示器】
对流量值进行3位数字显示。
除了错误显示之外，还显示输出状态(开关输出ON-OFF)。
【0.5秒的高速控制】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片，实现0.5sec的高速控制。
【高度可靠的流量控制】
再现性：±１%F.S.
精度：±3%F.S.
A 显示 L ：液晶显示
B 流量范围 005 ：500mL/min
C 流向 U ：单向
D 本体材质?适用流体 1 ：树脂?空气
E 配管口径 BH ：快插
（φ4mm管用）
F 配管方向 1 ：直管型
G 输出规格 A ：模拟电压输出X1、
NPN开关输出Ｘ1、
带设定复制功能
H 单位规格 1 ：仅SI单位制
I 阀选择项 N ：无
J 导线 B ：5芯3m
K 安装附件 M ：DIN导轨安装
L 附带文件 R ：检查成绩单
M 洁净规格 P80 ：禁油处理
安装方向 自由
保护构造 IEC规格 IP40
保护回路 电源反接保护，开关输出反接保护，开关输出负荷短路保护
EMC指令 EN55011 EN61000-6-2 EN61000-4-2/3/4/6/8
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