聚对二甲苯是通过活性单体气相沉积聚合而制备的，单体的气相沉积与膜的形成几乎同时进行，不存在液相过渡态。因在室温下成膜，这样就使得被涂件免受表面张力引起的变形危害，并且聚合物膜能在固体表面（包括锐角、裂隙和内孔表面）均匀地形成，而且极薄又无细孔，具有透明性、良好的气密性、力学性能、电学性能和化学惰性等。与常见的涂层材料相比（如环氧树脂和聚氨酯等），聚对二甲苯在力学性能、电性能和化学惰性等方面优于其它常见的涂层材料［３］。聚对二甲苯薄膜的特性可结如下：（１）可实现对基材完全同形的涂覆；（２）光学透明性较好；（３）吸湿小，防潮效果好；（４）电绝缘性好；（５）残余应力小；（６）良好的干润滑性；（７）良好的气密性；（８）固定表面碎屑，防止颗粒污染；（９）不释气，适合太空宇航应用；（１０）生物相容性好，符合ＦＤＡ（ＣｌａｓｓＶＩ）等要求。
