型号5635气棒MP电离器是一款低颗粒产品，专为*半导体制造工艺等需要进行100 nm以下微粒管理的地方的除电用途而开发。
在世界范围内具有*的采用业绩的单晶硅电极，伴随着低粒子特性，避免了电极材料引起的金属污染风险。
通过的MP(脉冲调制)方法有效地将离子转移到目标的高静电消除性能
即使在100 mm的距离下也可以使用的小电位摆动特性和杆长度偏差小的离子平衡
通过智能控制电路始终自动管理离子发生状态和离子平衡
1/4转可拆卸的交换式电极有助于减少维护工时
由于电位摆动非常小的MP方式的特征，设置简便化，另外电位摆动的小也能有效地将长期离子平衡保持在管理基准内。
为半导体前工艺设置符合EFEM的长度条
24V DC驱动控制器内脏的紧凑型设计
在全球范围内提供高级别的支持网络
Model 5635 AeroBar MP
| 输入电压(输入电压) | 24V DC+/-10% |
|---|---|
| 输出电压；输出电压； | *约13.5 kv p-p可调 |
| 安装距离： | 100 mm至1000 mm(无空气净化) |
| 离子发生方法 | 电晕放电系统 MP(脉冲调制)方式调制频率1~33 Hz |
| 离子平衡(离子平衡) | 自动平衡调整方法 <+/-10V内 バー直下 位置による差異 <+/-10v (600 mm距离) |
| 电极(电极) | 单晶硅电极可更换 |
| 吹扫气体(净化气体) | 清洁骑士或N2 |
| *吹扫压力 | 310 Kpa |
| 臭氧量：臭氧量 | <0.05ppm(24時間積算値) |
| 信号输出；信号输出 | 报警IO开路集电极输出 |
| 尺寸：尺寸 | 高度78 mm x深度34 mm x长度如下 |
| 450/600/850/1000/1150/1300/0 /1900/2050/2200/2350毫米 | |
| 外部包装(外部) | ABS树脂(ABS) |
什么是扩展ISO Class 1，10 nm？
对于扩展ISO Class 1，10 nm，ION Systems是ION Systems独自制定的清洁度的定义，以应对微小粒子管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class 1，10 nm使用与ISO 14644-1相同的容许粒子数的计算式，其容许粒子数在10 nm以上的粒径下为1200pc/m3(34pc/ft3
