parylene薄膜采用的方法是化学气相沉积法(CVD)，反应物质在气态条件下发生空间气相化学反应，在固态基体表面直接生成固态物质，进而在基材表面形成涂层的一种工艺技术。parylene薄膜制备过程为环状二聚体在高温下两个相连碳键断裂，生成具有活性的二单体，当其从高温环境进入室温环境的沉积室时，不稳定的单体就会聚合成膜。整个制备工艺过程分为三步：单体的汽化、裂解、在基材表面进行附着沉积。派瑞林薄膜透明度达到95%以上，致密性非常好，有效阻隔小分子的水汽或有害气体，parylene薄膜是一种*的高分子复合薄膜。
