SMC ITV2000/ITV3000系列电气比例阀动作原理图控制框图如上示。输入信号增大，供气用电磁先导阀1换向，而排气先导阀7处于复位状态，则供气气压力从SUP口通过阀1进入先导室5，先导室压力上升，气压力作用在膜片2的上方，则和膜片2相连的供气阀芯4便开启，排气阀芯3关闭，产生输出压力。此输出压力通过传感器6反馈至控制回路8.在这里，与目标值进行快速比较修正，直到输出压力与输入电信号成一定比例为止，从而得到输出压力与输入电信号的变化成比例变化。由于没有使用喷嘴挡板机构，故阀对杂志不敏感，可靠性高。
SMC真空比例阀用电气信号对真空压力进行无级控制
SMC真空比例阀用电气信号对真空压力进行无级控制。输入信号增大，q真空压用电磁阀为ON，w大气压用电磁阀变为OFF状态。由此，通过VAC.和e先导室，e先导室的压力变为负压，并作用在r膜片的上面。由此结果，与r膜片连动的t真空压阀芯打开，VAC.与OUT.接通，设定压力变为负压。此负压通过u压力传感器，反馈至i控制回路。在这里进行修正动作，直到真空压力与输入信号成比例，因此通常会得到与输入信号成比例的真空压力。
安装尺寸与老产品IT系列相同(托架共用)
可用于洁净室(可选项)
重量轻
灵敏度: 0.2kPa(100kPa规格)
在不加压状态，可进行
零位调整和满位调整
相当IP65
使用说明书：
①接真空泵时，在’VAC’口的密封封住再连接通口。
②压力的调整，当输入信号增大时，是大气压向真空压变化，当输入
信号减少时，是真空压向大气压变化。
③调整真空压力时，‘ATM‘口的密封要封住，注意大气压吸入口不
要塞住。
④本产品是负压的，注意不要错误施加正压。
⑤使用的真空泵的能力比较小的场合及使用的配管内径小的场合
SMC真空比例阀用电气信号对真空压力进行无级控制
