HRZ010-WS-C 循环液温调装置温控器
产品描述
HRZ 系列 循环液温调装置 温控器 双变频式
在HRZ系列高性能的基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能化
兼具广泛的温度调节范围和冷却能力范围
适用于更新周期短的半导体装置、工艺条件变化也能灵活应对
符合UL, SEMI标准、CE规格
字段描述
冷却能力 010 10kW
循环液种类
循环液种类:氟化液;设定温度范围:-20～90℃
可选项 C 模拟通信
端口歧管
4支循环液可实现4个温度
使用 1 台冷水机进行*控制。
r 去离子过滤器
这是离子置换树脂来维持电
循环流体的电阻率。
选择 DI 控制套件（选项 Y）的用户需要
单独购买 DI 过滤器。
* DI 过滤器是消耗品。根据状态（电阻率
设定值、循环液温度、配管容积等）、产品寿命
周期会相应变化。
t 去离子过滤器绝缘材料
当DI过滤器在高温下使用时，我们
建议您使用这种绝缘材料来保护
DI 过滤器的辐射热或可能的灼伤。当 DI
过滤器在低温下使用，我们也建议
您使用它来防止从 DI 过滤器吸收热量，并且
以免形成冷凝。
HRZ系列
安装视图（后侧） 210 毫米
4 x Rc1/2
2个/套
大约。 508 毫米
大约。
ø220 毫米
重量：约。 20 公斤
零件编号适用机型
HRZ-DF002 全机型通用，可选择
DI 控制套件。 （选项 Y）
危险警告标签
危险警告标签应用于该系统的部分，其中
在系统运行和维护过程中存在潜在危险。
危险警告标签有适当的尺寸和颜色，以引起人们的注意
操作员。除了警告说明外，它们还包含符号。
1.3.1 危险警告标签类型
贴在本系统上的危险警告标签如下所示。
高压危险标签
热/冷表面危险标签
【高压危险】
此警告标签贴在与系统盖板隔离的部分
施加高电压的面板。
请勿拆除本手册未的盖板。
图 1-1 危险警告标签 图 1-2 危险警告标签 No.2
图 1-3 危险警告标签 No.3 图 1-4 危险警告标签 No.4
[热/冷表面危害]
此警告标签贴在高温或低温的表面上
如果接触，可能会导致灼伤（或冻伤）。余热可能导致灼伤
尽管电源已关闭。确保表面到达房间
工作前的温度。
HRZ010-WS-C 循环液温调装置温控器
