5、受测针半径变化影响小/6、采用模拟正弦轮廓沟槽和三角轮廓沟槽受测针半径变化的影响小,校准精度高。
一、用途及特性介绍:
玻璃多刻线样板由光学玻璃经过光学加工而成,中间有一小块长方形工作区域,区域内有许多并列平行的刻线。其主要用于触针式电动轮廓仪ra示值误差、仪器示值的重复性和示值稳定性。
规格:0.1µm、0.2µm、0.4µm、0.8µm、1.6µm、3.2µm
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ra公称值(μm)
公称值的公差
0<ra≤0.075
±25%
0.075<ra≤0.11
+10%~-25%
0.11<ra≤0.5
±20%
0.5<ra≤1
±15%
1<ra≤10
±10%