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日本yamabun光学薄膜和透明涂膜用测厚仪FOS
发布时间:2022-03-25
日本yamabun光学薄膜和透明涂膜用测厚仪FOS
模型
飞行时间
测量方法
非接触式/光谱干涉仪
测量对象
电子、光学用透明平滑薄膜、多层薄膜
测量原理
光谱干涉仪
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产品特点
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实现高测量重复性(± 0.01 μm 或更小,取决于对象和测量条件)
不易受温度变化的影响
可以制造用于研究和检查的离线型和制造过程中使用的在线型。
反射型允许从薄膜的一侧测量
只能测量透明涂膜层(取决于测量条件)
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产品规格
测量厚度
1 至 50 μm(用于薄材料)、10 至 150 μm(用于厚材料)
测量长度
50-5000 毫米
测量间距
1 毫米 ~
*小显示值
0.001 微米
电源电压
AC100 伏 50/60 赫兹
工作温度限制
5~45℃(测量时温度变化在1℃以内)
湿度
35-80%(无冷凝)
测量区域
φ0.6毫米
测量间隙
约 30 毫米
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