主要产品规格
| 物品 | 规格 |
| 电源 |
AC100V，15A 3芯插头带地线 |
| 设备机身尺寸 |
宽 350 毫米 x 深 440 毫米 x 高 350 毫米 （设备重量 20 公斤） |
| 旋转泵 |
排气速度50ℓ/min (GLD-051) (重量14.6kg) |
| 样品室尺寸 | 内径 149 毫米 x 高 82 毫米（硬玻璃） |
| 电极样品台间距 | 50mm |
| 样品台 | Φ100mm |
| 可安装的样品尺寸 |
> Φ100mm（可安装尺寸Φ130mm） 高度35mm |
| 飞溅靶金属规格 |
Φ100 mm（有效直径98 mm），厚度0.1 mm Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag |
| 大气气体 | Air（空气）或 Ar（氩气） |