该设备使用旋转泵沉积碳，同时使用皮拉尼真空计监测真空度。通过不断蒸发一定量的碳，可以实现高度可重复的碳气相沉积。
请使用替换芯 SLC-30 作为碳源。
有一对100S电极和两对100W电极。100W可以切换到两倍的涂层厚度。
是内置旋转泵（RP）的一体型。将其安装在坚固的工作台上，使其不会与 RP 的振动产生共振。无需水冷。
主要产品规格
| 物品 | 规格 |
| 电源 | AC100V（单相100V15A） |
| 设备尺寸 | W305mmxD370mmxH442mm |
| 设备重量 | 29 kg（内置旋转泵） |
| 样品室尺寸 | 内径 120 毫米 x 高度 140 毫米 |
| 沉积源-样品台间距 | 可调范围为 45 毫米至 75 毫米 |
| 样品台尺寸 | 直径 100 毫米 |
