日本filmetrics 3D表面形状测量系统
它是一个使用白光干涉技术的系统，可以非接触测量包括台阶和粗糙度在内的三维形状。
Profilm 3D 适用于测量小样本，涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能，并且比传统产品更紧凑、更便宜。
多种测量模式，包括垂直扫描干涉法 (WLI)，*适合微米级台阶和形状的高精度测量，相移干涉法 (PSI)，*适合测量纳米级形状和粗糙度。包括标准步骤样品在内的一切都是标准设备，包括用于放大物镜的左*、自动载物台以及便于操作和分析和管理测量数据的软件。
！
在配备所有必要功能的同时实现
纳米量级
的高分辨率 采用相移干涉法实现高分辨率
全标准设备
XY自动载物台、手动左轮、自动光强调节、自动对焦功能
紧凑型外壳
主体占地面积为 30 x 30 厘米的紧凑型设计。
配备 WLI 和 PSI 两种测量模式
一个装置同时测量步距测量和粗糙度测量
操作
简单 基本操作只需简单的鼠标操作
符合 ISO 标准的粗糙度测量符合
国际标准 ISO25178
扩展
性 多种物镜选择、数据拼接功能
| 半导体 | 晶圆凸块、CMP焊盘等 |
|---|---|
| 医疗领域 | 注射针、人工关节、支架等 |
| 安装板 | 铜线、凸块、透镜等 |
| 垂直扫描白色干涉仪 (WLI) | 相移干涉仪 (PSI) | |
|---|---|---|
| 测量范围 | 50nm – 10mm | 0 – 3 微米 |
| 准确性 | 0.7% | - |
| 再现性 | 0.1% | - |
| 反射率对应范围 | 0.05% – * | 0.05% – * |
| XY自动平台 | 100 毫米 x 100 毫米 |
|---|---|
| Z轴驱动范围 | 100mm |
| 压电驱动范围 | 500微米 |
| 扫描速度 | 12微米/秒 |
| 相机 | 2592 x 1944（500 万像素） |
| 体重 | 15公斤 |
| 5次 | 10倍 | 20次 | 50次 | 百倍 | |
| 视野 | 4.0 x 3.4 毫米 | 2.0 x 1.7 毫米 | 1.0 x 0.85mm | 0.4 x 0.34 毫米 | 0.2 x 0.17 毫米 |
| 镜头分辨率 | 2.1微米 | 0.92 微米 | 0.69 微米 | 0.5微米 | 0.4微米 |
