7030-5由山西润盛进出口有限责任公司销售
经济性，应该从DCS本身价格和预计所创效益角度考虑。DCS有国产的和进口的，对相同档次而言，进口的控制功能强一些，有一些*的控制算法，如Smith预估、三维矩阵运算等，国产DCS价格要比进口的低很多，也能满足技术要求。从结构上来看，国外DCS的控制器各厂家差别不太远，控制器的预置算法稍有差别，控制器与I/O板的连接方式也有所不同。而操作站区别较大。有以PC机为基础的，有以小型机为基础的，操作系统一般选用UNIX类系统
Horiba STEC SEC-Z522MGXN H2 20 slm Mass Flow Controller, ASM PN: 1011-201-01
TTC / Acterna TPI 550B+ BRI ISDN Portable Test Set
TTC / Acterna TPI 550B+ BRI ISDN Portable Test Set
Stanford Research PS350 5kV High Voltage Power Supply
ASM PN: 04-194902-01 Kit-HIG Valve Plate Heater Install
Genmark 80NEL-30R2-1-LM Robot Teaching Teach Pendant, ASM PN: 45-115280A11?
Horiba STEC SEC-4400M GeH4/H2 1 slm Mass Flow Controller MFC ASM 845005170
Horiba STEC SEC-4400M GeH4/H2 500 sccm Mass Flow Controller ASM 54-123117A44
Mykrolis/Celeri?ty MSEAD101CR00 Inteliflow Mass Flow Meter ASM 54-125030A07
MKS 626A13TBE Baratron Pressure Transducer 1000 Torr, ASM PN: 65-106645A63
Bird 4025 Directional RF Thruline Power Sensor
ASM PN: 02-321599D01 125MM Hybrid Cassette Assembly (5", 125 mm)
Celerity/Unit UFC-1660 SiH2Cl2 500sccm Mass F
