日本yamashitadenso高倍率表面缺陷探伤仪
YIS 系列的高倍率检测设备可在萤幕上呈现一个10mm的视场。
特别广泛应用于磊晶处理后的滑线检查。同时也适用于硬碟或光学抛光元件。
检测灵敏度约相当于50倍的微分干涉像差显微镜。
※ 可以随时在敝公司内展示。 ※ 可将样品寄送过来，之后我们再将影像结果回寄。
即时显示所有表面状态。
光学系统对应等级１。
光学系统无须维护。
根据检测内容，可修正检测灵敏度。检测尺寸 从φ100mm至φ300mm 检测内容 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 检测倍率 1x / 3x 模式可切换（标准设备） 检测灵敏度 检测灵敏度可连续调整 使用光源 550nm （固定照度之稳定光源） 镜头 高解析度CCD镜头 平台 手动平台（标准设备） 用途
镜面晶圆的表面检测 滑线检测 玻璃基板检测 其他镜面基板检测 选配
电动马达检测平移台 自动判定缺陷影像处理装置 影像列印机 搬运装置
YIS 系列的高倍率检测设备可在萤幕上呈现一个10mm的视场。
特别广泛应用于磊晶处理后的滑线检查。同时也适用于硬碟或光学抛光元件。
检测灵敏度约相当于50倍的微分干涉像差显微镜。
※ 可以随时在敝公司内展示。 ※ 可将样品寄送过来，之后我们再将影像结果回寄。即时显示所有表面状态。光学系统对应等级１。光学系统无须维护。根据检测内容，可修正检测灵敏度。检测尺寸 从φ100mm至φ300mm 检测内容 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 检测倍率 1x / 3x 模式可切换（标准设备） 检测灵敏度 检测灵敏度可连续调整 使用光源 550nm （固定照度之稳定光源） 镜头 高解析度CCD镜头 平台 手动平台（标准设备） 用途
镜面晶圆的表面检测 滑线检测 玻璃基板检测 其他镜面基板检测 选配
电动马达检测平移台 自动判定缺陷影像处理装置 影像列印机 搬运装置
