ABB、GE发那科、AB、FOXBORO、Honeywell,力士乐、KUKA、SEW、施耐德等,三菱、安川、本特利,英维思,伍德沃德,福克斯波罗、西屋、瑞恩、施耐德莫迪康、ABB、AB、西门子、摩托罗拉、安川、博世力士乐,ACSO,力士乐等各大的DCS系统配件,机器人系统配件,大型伺服系统备件。(*停产配件原装进口原厂*,提供报关单,提供质保一年。)
因为激光器可以在晶圆完好无损的条件下完整形成(而解理面激光器的形成过程中必须切割晶圆),因此还可以执行晶圆级激光器测试。假定2英寸或3英寸晶圆上有几千或几万个激光器,那么根据硅光子应用要求,在晶圆级测试过程中将晶圆放至极端温度下进行测试将极具成本效益。
另外一个好处是,蚀刻面激光器可以在分成单个芯片之前进行完整的制造和自动化测试。举例来说,使用针对蚀刻面激光器的室内定制测试设备,BinOptics能够为已经合格的硅光子应用提供基于InP的激光器。在硅光子应用要求的整个温度范围内,晶圆上的所有激光器都用自动化、高吞吐量的测试操作进行测试。
图2显示了用于测试蚀刻面激光器的自动化晶圆级测试站工作原理,图中显示了上面放有蚀刻面激光器的一个晶圆工作台。在远离晶圆台的位置有一面大的透镜,用于在晶圆上测试期间捕获蚀刻面激光器发出的激光。在测试过程中,晶圆台会在x-y平面中移动晶圆,使待测器件和透镜的位置保持不变。探针臂将探针带到晶圆表面,对激光器进行各种测试。INDRAMAT TDM-1.2-050-300?-W1-000 TDM-1.2-050-300?-W1-000
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