净化车间复合式(MixedType)：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部洁净之空气。洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域1%覆盖使洁净度等级提高至1级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。
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开始选型时，因为没有弄清楚现场参数，选用的是电动单座调节阀，使用不久就故障频频，执行器电机烧坏、控制模块损坏、减速齿轮打坏的事，屡屡发生。后派人到现场观察、分析，才找出故障原因。原来，调节阀的进出口压差较大，执行器在工作时负荷太大，也可以说过载，所以才会有减速齿轮不堪重负，数次打坏及电机、模块损坏的事，更有甚者，用户在系统设计时取压点选择不当（选在压力变化特别快的地方），控制系统中压力控制模块的PID参数设置也有问题，致使整个系统灵敏度太高，压力稍微有一点变化，调节器就会输出控制信号去驱动调节阀，造成调节阀频繁动作，以至于震荡，进而引起整个系统的震荡，不但被控变量无法稳定，更令调节阀不堪重负，无法完成调节的任务。
