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典型电厂锅炉烟气处理流程是脱硝在前脱硫在后,脱硝后需要检测如NO、NO2(通称NOX,氮氧化物)、O2及NH3等;而脱硫前需要检测SOSO3;OCO2;粉尘等。按照常规的做法就是在脱硝出口安装一套CEMS,除尘器后进脱硫塔前安装一套CEMS,这样做的好处是烟气采样数据上传时间短,容易实现脱硝的自动控制。以尿素法、LIFAC工艺等半干法脱硫脱氮系统为例,其工艺是把碱性物质(石灰石、氢氧化钠、碳酸氢钠等等)的溶液或尿素溶液喷入炉膛、烟道或喷雾洗涤塔内进行脱硫脱氮。
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半导体生产流程由晶圆制造,晶圆测试,芯片封装和封装后测试组成,晶圆制造和芯片封装讨论较多,而测试环节的相关知识经常被边缘化,下面集中介绍集成电路芯片测试的相关内容,主要集中在WAT,CP和FT三个环节。集成电路设计、制造、封装流程示意图WAT(WaferAcceptanceTest)测试,也叫PCM(ProcessControlMonitoring),对Wafer划片槽(ScribeLine)测试键(TestKey)的测试,通过电性参数来监控各步工艺是否正常和稳定,CMOS的电容,电阻,Contact,
lLine等,一般在wafer完成制程前,是Wafer从Fab厂出货到封测厂的依据,测试方法是用ProbeCard扎在TestKey的lPad上,ProbeCard另一端接在WAT测试机台上,由WATRecipe自动控制测试位置和内容,测完某条TestKey后,ProbeCard会自动移到下一条TestKey,直到整片Wafer测试完成。