日本ulvac大气皮拉尼真空计 SW1-1/SW1-2
可测量从大气压到5×10-2Pa的宽量程的皮拉尼真空计。此外，该真空计取消了传统控制器（传感器单元）的操作和显示部分，并将其缩小到*低限度的必要功能，从而实现了“降低成本”和“节省空间”。
・用于太阳能电池、FPD、半导体、电子元器件等各种制造设备的
低真空区域的过程控制・用于 炉
等各种工业设备的低真空区域的 过程控制用于低-
叶型等工艺腔室多的各种制造设备
的真空区，
用于有振动、冲击的各种真空排气管路
・宽范围测量：能够测量从大气压到 5×10-2Pa 的宽范围
・提高耐冲击性：高耐冲击设计结构（申请中）
・*的大气压精度：真空精度在 ±20% 以内，与环境无关仪表的安装位置（第4878289号）
・灯丝材质・白金（Pt）：灯丝材质使用耐腐蚀性高的铂金
・提高可视性：异常确认用LED・
可一键调整：气压调整和一触即可调零
・维护：接点更换简单
法兰
规格和锥形螺丝R1/8规格加入阵容
・测量值输出信号：0～10V压力日志输出标准设备
・控制输出信号：可输出 2 个设定点（SW1-1）
・串行通信规格：可进行 RS-232C/RS-485 通信（SW1-2）
・适用标准：符合 CE 标准
显示器和显示单元电缆（SP1 ⇔ 显示单元）单独出售。
请电缆长度。
显示器：ISG1、IM1R1、IM2R2
显示单元电缆：
2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m、45m、50m、60m、70m、80m、90m、100m
