日本ulvac皮拉尼真空计 SP1

日本ulvac皮拉尼真空计 SP1

传感器单元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼规型测量单元。传感器单元采用触针和电路部分一体化的结构（可更换触针），是适合降低成本和节省空间的真空计。

用法

• 用于各种制造设备（包括半导体和电子元件）的低真空区域过程控制

• 用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制

• 用于在线型、单晶圆型等具有多个工艺室的各种制造设备的低真空区域的过程控制

特征

• 变送器规格：不需要压力指示器时，
  ・减少真空计成本
  ・节省控制面板周围的空间
  ・节省配线
  等。

• 易于更换手写笔

• 灯丝材料采用耐腐蚀铂金。

• 您一直在使用的手写笔（SP1：WP-01、02、03、16）可以按原样使用。

• 可以输出两个设定点

• SP1：压力为0～5V输出（非线性输出）

• 电源电压：可使用DC24V输入

有用的信息

购买时的注意事项

• 请手写笔的类型。
  * 测针类型根据安装连接（尺寸、形状）而变化。　

1. WP-01（φ18压力表口）

2. WP-02（φ15压力表口）

3. WP-03（Rc 3/8 PT 螺丝）

4. WP-16 (NW16)

• 显示器和显示单元电缆（SP1 ⇔ 显示单元）单独出售。

• 请电缆长度。

显示器：ISG1、IM1R1、IM2R2
显示单元电缆：
2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m、45m、50m、60m、70m、80m、90m、100m