SEMILAB-激光椭偏仪-LE-103PV

发布时间:2023-05-24

SEMILAB-激光椭偏仪-LE-103PV

产品型号:LE-103PV

产品介绍用于硅太阳能电池的激光椭偏仪 紧凑型创新设备,旨在测量沉积在纹理硅(单硅和多硅)衬底上的抗反射涂层的厚度和光学常数。可以轻松实现优化的入射角(12-90°),以获得沉积在多晶结构晶圆上的薄膜的大信号。金字塔结构可以定向以获得正确的测量值,同时将样品牢固地保持在适当的位置。

性能特点

确定减反射涂层的薄膜厚度和光学常数(折射率和消光系数)

用于稳定性和自动校准的集成光学元件

微点聚焦光学元件,用于良好信号收集。

特别改装的样品架,适用于 156×156 mm 的样品池尺寸。

在线集成,实现快速过程控制。

符合智能软件标准。

样品对准:用于手动倾斜和高度调整的大信号检测。

参数:

测量波长:632.8 nm(氦-Ne激光)

样品台:兼容 156 × 156 mm

测角仪:55° - 90° 手动控制

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