| 技术参数 | Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 |
| 垂直量程 | ±50μm、±200μm两档可调 |
| 系统分辨力 | 50um量程的分辨力1纳米,400um量程的分辨力8纳米 |
| 显示分辨率 | 0.001μm |
| 滤波方式 | GAUSS、2RC、ISO13565 |
| 符合标准 | ISO1997、ANSI、JIS2001 |
| 评定长度Ln | Ln = (1~5)L |
| 示值误差 | 10% |
| 示值重复性 | 6% |
| 存储 | 可存储10组测量结果 |
| 工作环境 | 温度0 ~ 40℃ 湿度<90%RH |
| 储运环境 | 温度﹣40℃~60℃ 湿度<90%RH |
| 重 量 | 760g |
| 外型尺寸 | 156 X75 X 56mm |
| 传感器驱动套 | 29 X26 X 120mm |