YTS-500型 半导体缺陷检测显微镜

发布时间:2023-12-05

1、IC塑料封装:集成电路行业检测

①自动识别封装缺陷;
②封装分层检测;
③封装内部结构、断层检测;


2、功率电子器件塑料封装
①分层,空洞检测;
②封装分层检测;

3、功率电子装片、粘片、连续炉焊
①焊接空洞 压片翘片、面包片、硅片裂纹;
②粘片质量检测;
③热沉焊接质量检测;

4、金刚石材料缺陷检测;

5、熔断器焊接点检测铜箔与黄铜的点焊;

6、复合材料内部气孔断层检测;

YTS-500型 半导体缺陷检测显微镜

应用领域:

高效率—— 根据20/80原则,车间现场80%的批量工件仅需做常规快速抽检,不需要做详细分析,因此可以使用400机型达到快速检测。用于半导体、集成电路、低压电器等行业的生产线的制程管控。适用于车间现场或小型理化实验室。


产品参数
1、工作电源:220V/50Hz,1KW;

2、*扫描范围:手动:260mm×100mm×50mm;自动:260mm×25mm×50mm

3、整机尺寸:800mm×600mm×13000mm;(标配)

4、水槽尺寸:380mm×240mm×110mm

5、探头频率范围:1~50MHz;(标配,可升级至230MHz);
6、图像分辨率:0.5um ~ 4000um;
7、典型扫描耗时:<45s (测试条件:扫描区域10mmX10mm,分辨率50um);
8、*扫描速度:300mm/s;*扫描加速度:5m/s²;
9、运动台定位精度:X/Y向<±1um,Z向<±10um;重复定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
10、采样频率:25~250MHz;(标配,可升级至1.5GHz);
11、每通道可调增益:-13~66dB;(标配,可升级);

12、脉冲重复频率:5kHz;(标配,可升级)。


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