[标题] 压缩干燥气体(CDA)是取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性碳吸附去除粉尘及碳氢化合物以供给至无尘室内使用。但外在环境空气中或是空压机运作时往往会含有或是产生：水气、油份、一氧化碳、二氧化碳、异味、污染微粒...等物质，而这些物质的，则会影响您所使用的压缩空气质量，也相对会影响产在线的产品及无尘室内环境。因此建议针对光电面板制程，半导体制程，生化医药制程压缩气体管路(P-CDA)及驱动用气体管路(D-CDA)对其可能残余之污染物均需加以监控。
压缩空气检测流程如下：1、开启压缩空气系统，稳定运行一段时间后，将压缩空气口或使用点接上的压缩空气测试仪，接通压缩空气，将压力调整至3bar，将油份检测盒接入压缩空气测试仪，同时打开计时器，计时测量时间为5分钟，取下油份检测盒，移走油份检测盒上的保护膜，记录油份含量。每个取样点测试3次。油份含量≤0.1mg/m3；
压缩空气浮游菌检测 3、悬浮粒子测试；粒子计数器开机预热5分钟再用软管将采样口与自净口连接自净，将(经酒精棉擦拭消毒)高压分离器连接压缩空气采样点，用气体吹一段时间，使其稳定，粒子计数 器自净好后，将采样口连接高压分离器进行采样。调节流量，设定采样周期。按打印键，打印指示灯亮，表示检测周期结束后，可自动打印出测量结果。
2、含油量；将压缩空气质量检测仪连接至各使用点，用压缩空气冲压缩空气质量检测仪至少3分钟(流速4L/min)后，*地将油盒推入适配器。进行测量，测量持续时间为5分钟，移走油盒的保护膜读取油的浓度。
压缩空气浮游菌检测 空压机排出的压缩空气是不干净的，除了含有水（包括水蒸气、凝结水）和悬浮物外，还有油（包括油雾、油蒸气）。这些污染物对提高生产效率、降低运行成本、提高产品质量是不利的，因此就需要进行干燥净化处理。为了统一标准，标准组织ISO所属压缩机、气动机械及工具委员会（TC118）在1986年提出了关于压缩空气干燥净化设备和压缩空气品质的标准，其中压缩空气质量等级标ISO8573.1把压缩空气压缩空气压缩空气压缩空气中的污染物分为固体杂质、水和油三种（我国等同采用了ISO8573即*标准GB/T13277－91《一般用压缩空气质量等级》
根据GB／T13277．1—2008《压缩空气第1部分：污染物净化等级》介绍，压缩空气质量检测中3种主要的污染物是固体颗粒、水分和油，此三者也是衡量压缩空气洁净度的主要参数指标。
标准外其他标准名称如下：
ISO7183 压缩空气干燥器规范与试验
ISO8573-1 一般用压缩空气*部分：污染物和质量等级
ISO8573-2 一般用压缩空气第二部分：悬浮油粒的测试方法
ISO8573-3 一般用压缩空气 第三部分：湿度测量
ISO8573-4 一般用压缩空气第四部分：固体粒子的测量
ISO8573-5 一般用压缩空气第五部分：油蒸汽的测量
ISO8573-6 一般用压缩空气第六部分：气体污染物的测量
ISO8573-7 一般用压缩空气第七部分：微生物的测量
