CS 加热器（Clean & Safe Heater) 主要用于半导体制造工程中的各类特殊化学药液的加温，这些药液包括晶片扩散前清洗液、氮化膜除去液、光刻胶剥离液等。该加热器的液体接触部全部采用高纯度石英，使用高功率的卤素灯放射型间接加热，对化学液体实现完全无污染、无损害、高效率加热。
主要用途
1.半导体工程中的药液加热控制
扩散前清洗液 ：氨水 双氧水、盐酸 双氧水
光刻胶酸性剥离液 ：硫酸 双氧水
氮化膜除去液 ：磷酸
2.其他特殊领域的化学药液加热控制
镀金液等镀液、清洗液等。
主要特征
◆加热器采用高纯度两层石英管构造，放射型的加热方式，石英管温度较低，不会因石英溶解和加热器破损对液体造成污染。
◆配备有控制器，设备的各种**性能和故障警报功能齐全。
◆小型设计，可以放置设备内部使用。
◆加热效率达到95%以上，极大地缩短了加热等待时间。
◆采用近红外线加热的间接型加热方式，加热用卤素灯的寿命长、耐用，更换方式简单，有连续使用10年不更换的案例
