河北省高效过滤器完整性测试(PAO检漏)检测指标--持正检测 二、检测方法：采用扫描法对高效过滤器的安装接头和主段进行检查，检测点距被测表面20～30mm,测量头以5～20mm/s的速度移动，对待检测的过滤器的全断面、密封头和安装框架进行扫描。
高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验检测（如DOP试验等），并提供合格证（含性能试验结果）对于5级（100级）以上洁净室用高效过滤器、高效过滤器在现场应再次进行高效过滤器本体的性能检测。同时也要为确认高效过滤器的正确安装状态进行泄漏试验。而在大规模集成电路生产的洁净技术中（如0.1μm，1级），由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的程度，因此，在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。
高效过滤器完整性测试(PAO检漏) 高效过滤器的运输和存放应按照生产厂标志的方向搁置。在运输过程中，应轻拿轻放，防止剧烈振动和碰撞，不可以强制装卸。
测试方式有：1.气胶光度计测试法；2. 微粒计数器测试法；3.全效率测试法；4.外气测试法
高效过滤器检漏方法一般有5种，钠焰法、油雾法、DOP法、荧光法、粒子计数法，我们这里主要介绍DOP法。 DOP法，曾经是国际上测试高效过滤器海绵常用的方法。它的测试尘源为0.3微米单分散相邻苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴，也称为“热DOP”，“量”为含DOP空气的浑浊程度。将DOP液体加热成蒸汽，蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒，进入风道，通过测量过滤器前后气样的浊度，并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。
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