宁夏如何对高效过滤器进行检漏检测指标--持正检测 2)油雾法OilMist：原西德，原苏联，和采用过该办法。 尘源为油雾。“量”为含油雾空气的浊度。仪器为浊度计。以气样的浊度差异来断定过滤器对油雾颗粒的过滤效率。 油雾法在德国外乡曾经成为历史。仅有少量**单位仍然运用油雾法，由于原苏联帮搞过滤器时运用的是油雾法。 相关规范：我国有GB6165-85。
高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验检测（如DOP试验等），并提供合格证（含性能试验结果）对于5级（100级）以上洁净室用高效过滤器、高效过滤器在现场应再次进行高效过滤器本体的性能检测。同时也要为确认高效过滤器的正确安装状态进行泄漏试验。而在大规模集成电路生产的洁净技术中（如0.1μm，1级），由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的程度，因此，在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。
如何对高效过滤器进行检漏 气溶胶过滤器测试方法通过以下方面得到了改进：1.确定注射点和要测试的过滤器之间是否有足够的混合距离。如果距离不足，则应使用喷射管（混合歧管）。它可以固定安装或暂时用于测试。即使在测试之间卸下歧管，也应将其于安装。2.安装并用于气雾剂引入的特定注入端口。3.安装合适的上游气溶胶样品端口。典型要求是距过滤器表面10厘米，并位于过滤器区域的中间。合适的上游样品端口的ID不得小于5mm且不大于8mm。4.进入过滤器下游侧的过滤器，以便对其进行扫描。如果无法使用此功能，则需要进行一些工程设计以扫描过滤器。如果手动进入该区域不切实际，则可以使用纵向扫描探针作为安装。纵向扫描探头对于安全更换外壳中的过滤器扫描特别有用。5. SOP应参考所用的端口和一次性测试，以证明气溶胶混合均匀分布。
泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描高效空气过滤器非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的高效空气过滤器泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。一段时间以来，因被怀疑对人有致癌作用，现常以 DOS （ Dioctylsebaeate 癸二酸二辛脂）亦称 DEHS[di(2-ethylexyl)sebacate] 及 PAO(polyaphaolefin 聚 a 烯烃）等代替，但实验方法仍称“ DOP 法”。大气尘由于其浓度随地点及时间等变化，有时较大，有时较低，一般不用来作为检漏用。 FDA 指出在进行检漏时，选用的气溶胶应符合一定的理化要求，不应使用会引起微生物污染、造成微生物滋生的气溶胶。DOP 发生器可分为热发生和冷发生两种，热发生器是利用蒸发冷凝的原理，被雾化的气溶胶粒子用加热器蒸发，并在特定条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下 0.3um 左右的雾状 DOP 进入风道，粒径分布在 0.1 ～ 0.3um 。冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡，经 laskin 喷管飞溅产生物态的多分散相 DOP 气溶胶，*分布粒径在 0.65um 左右 。目前常用的热DOP比较多，所以过滤器的效率要有保证。
检漏的范围：1.过滤器的滤材；2.过滤器的滤材与其框架内部的连接；3.过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑狂架之间；4.支撑框架和墙壁或顶棚之间；
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