日本RORAY东丽 氧气浓度计MS-500
日本RORAY东丽 氧气浓度计MS-500
产品介绍：
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
*多可同时测量 8 个点 可显示从 ppm 级到 * 的多种浓度。 *适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。 直插式传感器（真空NW法兰16/25/40） 高耐用传感器采用特殊涂层，进一步提高耐用性氧气浓度计MS-500
MS-500设备规格
测量原理 氧化锆浓差电池类型 形状 分体式（传感器：壁挂式、传感器：直插式） 显示方式 数字4位显示（浓度显示） 测量范围 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2 10 -20 ~10 -0 atm
自动量程重复性 ±0.5%FS 0-1% 量程或更高
，以及 ±1%FS 或 ±0.1ppm（以较大者为准） 小于 0-1% 量程
0-1ppm，ATM 量程出保证浓度范围测量点数 1-8 样气条件 压力 10 -3 ~200KPa（绝压） 流量 0.5至5,000mL/min或0mL/min（自然扩散状态的测量） 湿度 露点低于环境温度 温度 0～100℃ 其他的 不含腐蚀性气体（氟气、氯气、硫化物气体等）、含有机硅的气体、可燃性成分（包括瓦斯）、油类、水分。 比较气体 气氛 录音机输出 仅传输输出 变速输出 RS-232C 报警输出 没有任何 热身时间 6分钟内 尺寸 MS-500（控制器） 92（宽）×44（高）×120（深）（不含突出部分） MS-510（转换器） 100（宽）×40（高）×88（深）（不含突出部分） 传感器单元 SD16NW 长100mm（传感部分Φ11×39、本体部分Φ40×51） SD25NW 长100mm（传感部分Φ11×42、本体部分Φ40×48） SD40NW 长100mm（传感部分Φ11×41、本体部分Φ40×49） 大量的 MS-500（控制器） 约0.6公斤 MS-510（转换器） 约0.5公斤 传感器单元 SD16NW 约0.2公斤 SD25NW 约0.2公斤 SD40NW 约0.35公斤 外部连接 任一真空法兰（NW16、25、40） 使用电源 24VDC±10%
