1.测量范围：≥400*300*180mm；
2.测量精度：≤3μm；
3.X，Y 坐标解析度：≤1μm，数据处理系统：多功能数据处理系
统，全中文显示，可做多点采样，坐标旋转，点、线、距离，角
度检测，RS-232 数据输出，可直接导入 CAD；
4.机械本体：底座，立柱：花岗岩精度优于 00 级，平面度≤3μm；
导轨： FY- V 型高平衡滚子交叉导轨；光栅尺：闭合式光栅尺，
分辨率≤1μm；Z 轴驱动方式：手动对焦；
5.光学系统：CCD：高解析数字相机；镜头：可连续变倍高清镜头，
光学放大倍率 0.7×-4.5×；表面光：灯珠 LED 环形冷光源；轮廓
光：灯珠 LED 圆形冷光源；
6.软件系统：多语言智能自动测量系统；≤0.1μm 分辨率三轴解
析系统；高清晰视频采集系统；
7.整套系统包括：主机 1 台；主机底柜 1 套；工作站 1 套
1.测量范围：≥400*300*180mm；
2.测量精度：≤3μm；
3.X，Y 坐标解析度：≤1μm，数据处理系统：多功能数据处理系
统，全中文显示，可做多点采样，坐标旋转，点、线、距离，角
度检测，RS-232 数据输出，可直接导入 CAD；
4.机械本体：底座，立柱：花岗岩精度优于 00 级，平面度≤3μm；
导轨： FY- V 型高平衡滚子交叉导轨；光栅尺：闭合式光栅尺，
分辨率≤1μm；Z 轴驱动方式：手动对焦；
5.光学系统：CCD：高解析数字相机；镜头：可连续变倍高清镜头，
光学放大倍率 0.7×-4.5×；表面光：灯珠 LED 环形冷光源；轮廓
光：灯珠 LED 圆形冷光源；
6.软件系统：多语言智能自动测量系统；≤0.1μm 分辨率三轴解
析系统；高清晰视频采集系统；
7.整套系统包括：主机 1 台；主机底柜 1 套；工作站 1 套
1.测量范围：≥400*300*180mm；
2.测量精度：≤3μm；
3.X，Y 坐标解析度：≤1μm，数据处理系统：多功能数据处理系
统，全中文显示，可做多点采样，坐标旋转，点、线、距离，角
度检测，RS-232 数据输出，可直接导入 CAD；
4.机械本体：底座，立柱：花岗岩精度优于 00 级，平面度≤3μm；
导轨： FY- V 型高平衡滚子交叉导轨；光栅尺：闭合式光栅尺，
分辨率≤1μm；Z 轴驱动方式：手动对焦；
5.光学系统：CCD：高解析数字相机；镜头：可连续变倍高清镜头，
光学放大倍率 0.7×-4.5×；表面光：灯珠 LED 环形冷光源；轮廓
光：灯珠 LED 圆形冷光源；
6.软件系统：多语言智能自动测量系统；≤0.1μm 分辨率三轴解
析系统；高清晰视频采集系统；
7.整套系统包括：主机 1 台；主机底柜 1 套；工作站 1 套
