•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
结构紧凑，排气量大。 干式真空泵的*压力水平。 内置自动复位型热保护器等安全设计。 通过空气冲洗抑制水分凝结。 分析设备 气体回收系统 涂装设备 TMP的背泵 氦气检漏仪 半导体制造工艺特点
用途
※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。 ：标准、○：可选对应、－：对应不可 １ 粉末和生成物吸入会导致泵损坏。 ２ 吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。规格
Unit50Hz60Hz设计排气速度度※1L/min90108极限压力Pa (kPa)5.0使用电动机※2 单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転全负荷电流A2.6/30V)2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230V)重量kg14.0吸气口径 KF-25排气口径 KF-16使用环境温度范围℃5～40水蒸气处理量g/day≦5 以下 （AF開時※3, 室温25℃, 湿度60％以下）噪音水平dB≦52 （AF開時※3, ≦57）*尺寸mm214(W)×308(L)×225(H)
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。对应标准/电压
型号标准※ＣＥ自我宣言1Φ、100V系1Φ、200V系3Φ、200V系3Φ、400V系DIS-90cTUV（可以通过更换端子板切换）－－
※ｃＴＵＶｕｓ ： 本产品是通过国际第三方产品安全测试和，符合美国标准的高质量产品。使用上的注意
请使用吸气阱。尺寸图
排气速度曲线
