BROOKS 布鲁克斯 质量流量控制器 GF40

一台设备适用于各种气体和流速，具有灵活性

长处

• 可配置的多气体/多量程功能

• Brooks® MultiFlo™ 气体数据库基于数以千计的真实世界气体测试，以建立一种补偿功能

• 响应时间和 1% 的设定点精度，即使在繁重的应用中也是如此

• 与多种气体兼容

• 具有快速响应的哈氏合金传感器

• 独立于工具的通信系统，并配备易于访问的诊断服务端口

• 多协议通信选项，如 DeviceNet™、EtherCAT、® Profibus® 和 RS-485 模拟接口

优点

• 质量流量控制器 （MFC） 未从气体管路中移除，并且包括用于满量程范围的*气体校准和 MultiFlo™ 技术，以*限度地延长过程生产的正常运行时间

• 简单明了的 MultiFlo™ 编程：可在 60 秒内选择切换不同气体

• 减少了原始设备制造商和大型*终用户拥有的具有固定气体类型和流量范围的控制器的库存

• 基于全球标准的高性能测量系统和校准，可实现*的工艺气体精度

• 耐腐蚀传感器可使传感器保持长期稳定性，以确保*的产量和吞吐量

• 用户可访问的服务端口简化了故障排除和诊断

• 弹性体密封件以合理的成本在各种应用中实现灵活的性能

• 多个协议通信接口支持集成到现有系统中

用途

• 太阳能电池CVD（化学气相沉积）系统

• 生命科学生物反应器

• 真空工艺

• 纳米技术/MEMS制造

• 等离子、玻璃和卷筒纸涂层系统

• 分集管/气体分配系统的选择