长期零点稳定性：小于 0.2% 满量程/年
由于轻微的过冲和下冲引起的变化，流量响应快
流量额定值范围广 - 3 sccm 至 1000 slpm
高压额定值 - 高达 1,500 psi
可拆卸流量传感器
安装姿势无影响
与其他质量流量控制器的机械和电气兼容性
电动阀门控
防腐阀门
在各种过程和应用中经过验证的长期稳定性和准确性
可靠的性能提供了*的投资回报
可拆卸流量传感器，无需连续监测和*调节气体压力
模拟输入和输出，便于安装和维修
化工和石化催化剂研究和中试工艺
实验室和分析系统
生命科学生物反应器
太阳的
| 5850E，i | 5851E，i | 5860E，i | 5861E，i | 5853E，i | 5863E，i | |
| 产品类型 | 质量流量控制器 | 质量流量控制器 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量控制器 | 质量流量计 |
| 差异化优势 | 设备类型 流量范围 | 设备类型 流量范围 | 设备类型 流量范围 | 设备类型 流量范围 | 设备类型 流量范围 | 设备类型 流量范围 |
| 流量范围（满量程容量） | 高达 30 slpm | 10 - 100 升/分钟 | 高达 30 slpm | 10 - 100 升/分钟 | 100 -1000 升/分钟 | 100 - 1000 升/分钟 |
| *压力 | 1500磅/平方英寸 | 1500 磅/平方英寸 / 100 巴 | 4500磅/平方英寸 | 4500磅/平方英寸 | 1500磅/平方英寸 | 1500磅/平方英寸 |
| 精度 | 1.0% 满量程 < 20 SLPM 1.5% 满量程 20-50 SLPM | 1% 满量程，包括校准条件下的线性度 | 1.0% 满量程 < 20 SLPM 1.5% 满量程 20-50 SLPM | 1% 满量程，包括校准条件下的线性度 | 1% 满量程，包括校准条件下的线性度 | 1% 满量程，包括校准条件下的线性度 |
| 再现性 | 0.25% 利率 | 0.25% 利率 | 0.25% 利率 | 0.25% 利率 | 0.25% 利率 | 0.25% 利率 |
| 响应时间 | 满量程 2% 以内 3 秒（0-* 命令步长） | 满量程 2% 以内 3 秒（0-* 命令步长） | 满量程 2% 以内 3 秒（0-* 命令步长） | 满量程 2% 以内 3 秒（0-* 命令步长） | 满量程 2% 以内 3 秒（0-* 命令步长） | 满量程 2% 以内 3 秒（0-* 命令步长） |
| 多气体多量程 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
| 诊断能力 | 手动 | 手动 | 手动 | 手动 | 手动 | 手动 |
| 模拟通信 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 |
| 数字通信 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A |
| 电气连接 | D型连接器 | D型连接器 | D型连接器 | D型连接器 | D型连接器 | D型连接器 |
