山西省长治市电子厂净化工程洁净度检测 报告--安衡检测
目前对于大规模集成电路生产车间空调系统具有以下特点:1、大规模集成电路工艺布置多采用开放环境结合微环境的方法,在保证产品质量的同时,还可达到减少建设投资、降低运行费用的目的。
电子厂净化工程洁净度检测 2.温湿度需求:温度通常为24 2 度 ,相对湿度为55 5%; 3.送风量大。为了满意无尘车间内的洁净度及热湿平衡,需求较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。每个行业对于洁净室的要求都不同,良好的车间环境对于东西的生产及员工的健康都起着特别大的作用。
因为净化工程的检测主要关注两种粒径,即0.5um和5um。等速采样对≤0.5um的颗粒影响不大。如果采样空气用于计算大于或等于 0.5um 的粒径浓度,如果这些粒子不受等速条件的影响,则计算结果不受影响。因此洁净室区域非等速采样只对大于等于0.5um的颗粒有意义。
应当按以下要求对洁净区的悬浮粒子进行动态监测:(一)根据洁净度级别和空气净化系统确认的结果及风险评估,确定取样点的位置并进行日常动态监控。(二)在关键操作的全过程中,包括设备组装操作,应当对A级洁净区进行悬浮粒子监测。生产过程中的污染(如活生物、放射危害)可能损坏尘埃粒子计数器时,当在设备调试操作和模拟操作期间进行测试。A级洁净区监测的频率及取样量,应能及时发现所有人为干预、偶发事件及任何系统的损坏。灌装或分装时,由于产品本身产生粒子或液滴,允许灌装点≥5.0μm的悬浮粒子出现不符合标准的情况。(三)在B级洁净区可采用与A级洁净区相似的监测系统。可根据B级洁净区对相邻A级洁净区的影响程度,调整采样频率和采样量。(四)悬浮粒子的监测系统应当考虑采样管的长度和弯管的半径对测试结果的影响。
随着科学技术的发展,各种电子产品生产技术发展迅速。现代电子产品要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性,电子产品本身使用的集成电路、电子元器件的生产过程都要求在受控的环境下进行操作,受控参数涉及微粒、化学污染物等与产品生产过程接触的各种介质。电子厂房内气流组织依据气流流型可划分为单向流、非单向流和混合流三种形式。
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