• 多气体监测（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)
• 高灵敏度
• 气室加热功能*可达 180℃
• 多重显示
• 模拟/数字通信

IR-400 实时终点监测的优势

• 减少腔室清洗时间
• 减少清洗气体使用量
• 可重复和可预测的清洗过程
• 延长腔室组件寿命

应用示例 

• 监控室排气管线

测量技术

可靠、高性能
非分散红外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的红外吸收法利用测量红外光源发出的红外光中气体分子吸收的原理。将吸收了被测气体的样品输出与无吸光度的参考输出进行对比，并将结果转换成气体浓度。使用这种双光束方法可以获得长期稳定的测量结果。

光学系统由光源、气室和双光束检测器组成。双光束检测器的稳定性已得到 40 多年的验证。