HORIBA掘场VG-200S电容压力计 隔膜真空计北崎供应
HORIBA掘场VG-200S电容压力计 隔膜真空计北崎供应
在线压力测量是许多行业不可或缺的技术，包括半导体、平板显示器、光伏板、硬盘和涂层。 电容压力计通过与对面电极的电容测量由隔膜两侧（称为隔膜）之间的压力差引起的位移量，并将其转换为压力。 与其他压力测量方法相比，电容压力计具有以下特点：
HORIBA 的 VG-200S 电容压力计是*小的自温控真空计。 的电极结构实现了高精度和高稳定性。
| 型 | VG-211S 系列 | VG-221S 系列 | ||
| F.S. 测量范围 | 133.32帕斯 （A） |
1.3332 kPa （A） 13.332 kPa （A） 133.32 kPa （A） |
133.32帕斯 （A） |
1.3332 kPa （A） 13.332 kPa （A） 133.32 kPa （A） |
| 传感器的温度控制 *1 | 室温（无加热器） | 55°C / 100°C | ||
| 精度 *2 | 0.5% R.S. | 0.25% R.S. | 0.5% R.S. | 0.25% R.S. |
| 分辨率 | 0.03% F.S. | 0.01% F.S. | 0.03% F.S. | 0.01% F.S. |
| 零温度系数 | 0.01% F.S./°C | 0.005% F.S./°C | 0.005% 满量程 /°C | 0.0025% 满量程 /°C |
| 跨度温度系数 | 0.05% 读数/°C | 0.03% 读数/°C | 0.03% 读数/°C | 0.02% 读数 /°C |
| 响应时间 | < 60 毫秒 | |||
| 工作温度范围 *3 | 10-50°C | |||
| 气体接触材料 | SUS316L | |||
| 加压极限 | 300kPA （A） | 350kPa （A） | 300kPa （A） | 350kPa （A） |
| 输出信号 | 0-10VDC 负载电阻：>10kΩ | |||
| 输入/输出连接器 | D-Sub 15 针 | |||
| 电源电压 | +15VDC±5%、* 0.1A -15VDC±5%、* 0.1A | +15VDC±5%，* 0.6A。 -15VDC±5%，* 0.6A。 | ||
| 24VDC±5%，* 2.4W | 24VDC±5%，* 22W | |||
| 预热时间 | 15 分钟 |
60 分钟（55°C 温控型） 120 分钟（100°C 温控型） |
||
| 集电极开路输出 | 额定电压：30V 额定电流：50mA | |||
| 重新归零输入 | 无电压触点输入 触点开路电压：13V *触点电流：1.3mA | |||
| 标准配件 *4 | KF16， 1/2 英寸 VCR 母头， ICF34， 1/4 英寸 VCR 母头 | |||
*1 请在订购时温度控制类型和温度。
*2 包括线性度、滞后性和重现性。 （环境温度为 25°C 时）
*3 如果产品周围有热源，或者多个产品非常接近，则环境温度可能会过规定的环境温度。
*4 请在订购时配件。
