【基本规格】
| 产品名称 | 化学品监控系统 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型 | CS-1000 型 | ||||
| 测量项目 | 化学浓度、电导率、pH 值 | ||||
| 测量原理 | 吸收光谱、双极导电、玻璃电极 | ||||
| 目标化学品 | 半导体制造工艺中使用的多组分化学品（详情请联系我们） | ||||
| 外形尺寸 | 700 （W） × 610 （D） × 1640 （H） mm（不包括突出部分） | ||||
| 质量 | 约 200 公斤 | ||||
| 接液材料 |
柜式（PFA、PTFE） 分光光度计（PFA、PTFE、石英、Kalrez™） 电导率仪（PFA、碳、Kalrez™） pH 计 - 排水（PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烃树脂、THV、PFA、 Kalrez™， PharMed BPT） *Karlez™ 是 DuPont de Nemours， Inc. 的商标。 |
||||
| 标准 | CE ， KC ， FCC 规则 Part15 ， UKCA ， SEMI S2 | ||||
[安装环境]
| 环境温度 | 20~30 °C（室温无突然变化，±0.5 °C/1 小时以内） |
|---|---|
| 环境湿度 | 40~70%RH （无冷凝） |
| 权力 | AC 190~240V（单相），50/60Hz |
| 功耗 | 约 355 VA（不包括启动时的瞬态电流） |
| 通信 |
模拟输出：4-20mA，串行输入/输出：RS-485 Modbus（RTU），并行输入/输出 * 但是，当测量值未更新时，例如设备异常时，它固定为 1.5mA。 |
[保养]
| 消耗品 |
由客户或我们的服务工程师 更换零件 卤素灯（使用寿命约 1 年） 氘 灯（使用寿命约半年） 试剂 pH 4（符合 JIS 标准）、pH 7（符合 JIS）、KCl（3.33 moL AgCl 饱和液体）（更换周期：约半年） |
|---|
