HORIBA掘场CS-900 非接触式化学品浓度监测器北崎国际

发布时间:2025-02-12

HORIBA掘场CS-900 非接触式化学品浓度监测器北崎国际

HORIBA掘场CS-900 非接触式化学品浓度监测器北崎国际

这是一款非接触式化学品浓度监测器,可测量半导体制造过程中使用的化学品,例如清洁和蚀刻。

通过不接触管道中流动的化学液体进行测量,可以安全、稳定地监测浓度,而不会发生化学泄漏或污染。

 

化学浓度

DC24V 直流传输功率触点输出RS-485 系列高温测量非接触式多组分

非接触式测量结构

通过防止化学品泄漏和污染,可以进行安全稳定的测量。 此外,由于无需切割管道部分即可安装,因此缩短了导入时的安装工作时间和工作量。

稳定测量高温化学品

随着光学系统的更新和算术处理的改进,可以稳定地测量高温化学溶液 (20~80°C),这对于*的化学处理是必不可少的。

光源的使用寿命更长

使用 LED 灯可确保较长的使用寿命(5 年保修)。

节省空间

光源和光谱仪集成到单元中。 显示单元为面板安装型。


产品名称 非接触式化学品浓度监测仪 CS-900
CS-900 型
测量原理 吸收光谱
浓度计算方法 温度补偿多变量分析方法
测量范围和
再现性系统
(单位:质量%)
型号名称 成分名称 测量范围 重复精度 模拟输出范围
CS-900-1P-1P25P5 系列 新罕布什尔州3 0.00%-1.20% ±0.05% 0.00-10.00
H2O2 0.00%-5.50% ±0.10% 0.00-10.00
H2O 93.3%-100.0%  ±1.0%      -
CS-900-1P-P8P8 新罕布什尔州3 0.20%-0.80% ±0.03% 0.00-1.00
H2O2 0.20%-0.80% ±0.03% 0.00-1.00
H2O 98.4%-99.6% ±0.3%      -
测量条件 1) 测量周期:约 3 秒
2) 移动平均:16 次
管道※1 1“ 或 3/4” PFA 管道
样品液体条件※2 化学温度:20~80°C 化学
温度变化、环境温度变化±1°C(1小时)以内 输入
压力:0.2MPa(G)以下
压力变化:0.02MPa以下
权力 DC24V 直流
功耗※3 约 30W
质量 显示:约 0.9Kg 传感器
单元:约 2.9Kg
尺寸(宽×深×高) 指示器:96×135×96 mm
传感器单元
※4尺寸:238×140×146 毫米
传感器单元安装角度 前后方向:±3 度以内,左右方向:0~90 度
光源寿命 5 年
通信协调 并行 I/O、RS-232C、模拟输出
可滚动

※1不允许使用防静电型。
※2如果样品液体不流动,则由于气泡的影响,可能无法正确测量。
※3不包括启动期间的瞬态电流。
※4不包括突起。

 

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