FDS型是无需废水处理、能够高效**处理PFCs气体的干式废气处理装置。可高效处理99.9%以上的PFCs气体，分解后的含氟废气能够干式固定，所以不会产生废水，无需进行有毒废水处理。产品阵容包括：*大流入废气量250L/min、PFCs去除效率99%以上（使用250L/min双筒式)、通过反应槽串行流程设计可大幅提高装置运行时间的双筒式设备；方便与传统干式废气处理装置相互置换的单筒式设备。该装置也是不具备废水处理设备和燃料线路的实验室的*佳选择。
| 设备名称 | 单位 | FDS100S | FDS250 |
| 处理方式 | 干式 | 干式 | |
| 反应槽条数 | 1 | 2 | |
| 反应槽更换检测 | 标准：荷重计 选项：PFC检测器 | 标准：PFC检测器 | |
| *大允许流入气体量 | L/min | 100L/min | 250L/min |
| 尺寸 | W x D x H mm | 600×600×2,000mm | 1,605×1,000×2,507 |
| 处理剂寿命 | L/支 | CF4 : 3,000 | CF4 : 10,000 |
| 处理对象气体 | CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等 | CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等 | |
北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）
备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）
