ULVAC爱发科 机械增压泵PRC-012A

发布时间:2025-04-27

特征


  • 可以将在高温区域进行热等温CVD、蚀刻等产生的升华性排气物质以气态排出。 “型号
    :UR”可以达到比“型号:HR”更高的温度。
  • 配备氦气密封
    罐装电机,具有气密结构,极其安全。
  • 瞬间停电对策
    采取长达1000毫秒的瞬间停电对策。
  • 优良的耐腐蚀性
    :主要部件均采用标准的特殊表面处理,具有较高的表面硬度和优良的耐腐蚀性。排出腐蚀性气体时减少泵内部的腐蚀。
  • 通讯功能:
    可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。通过使用软件和计算机通信,可以实现集中监控。

应用

  • CVD设备
  • 蚀刻设备
  • 灰化装置
  • ALD、ALH 等。

规格

模型 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
所用泵 分配资源计划 HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
甲基溴化铵 - - PRC-003A PRC-006A PRC-012A
*
抽速 
50赫兹 立方米/小时
(升/分钟)
62(1030) 112(1860年) 359(5,980) 653(10,900) 1,012(16,900)
60赫兹 立方米/小时
(升/分钟)
80(1333) 126(2100) 365(6,080) 701(11,700) 1,051(17,500)
极限压力 爸爸 5 0.67     
*进气压力
(吸入压力)
大气压*1
*排气压力
(排气压力)
爸爸 1~大气压
进气口(CE规格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100)
排气口 KF40
大量的 公斤 180 245 275 370 420
力量 三相 交流电压(赫兹) 200(50/60), 220(60)
当前值 处于稳定状态 一个 7.1
(200V时)
11.2
(200V时)
7.8
(200V时)
12.9
(200V 时)
15.4
(200V时)
*限度 一个 7.3
(200V时)
11.8
(200V时)
8.1
(200V时)
13.8
(200V 时)
18.9
(200V 时)
冷却水压力 兆帕 0.1~0.3
冷却水进/出水压差 兆帕 >0.1
冷却水流量 升/分钟 >5.0
吹扫气体 一次压力 兆帕 0.1~0.5
二次压力 兆帕 0.05~0.1
氮气吹扫 空间光调制器 5
汽油 空间光调制器 0~45
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