LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L
质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。作为现代工业自动化过程控制的核心组件，MFC通过将质量流量传感器、控制阀和比例积分微分（PID）控制电路集成于一体，实现对流体流量的高精度闭环控制，典型控制精度可达±0.5%～±1.0%满量程（FS）。
质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。
型应用场景
1. 半导体制造：
晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）
CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）
离子注入（BF₃/PH₃配气）
2. 新能源领域：
燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）
锂电材料烧结（N₂/O₂混合控制）
光伏硅烷沉积（流量波动<±0.3%）
3. 制药行业：
生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）
冻干机惰性气体保护（露点控制<-70℃）
无菌灌装环境控制（ISO 5级洁净度）
4. 科研实验：
催化反应研究（多路气体并行控制）
质谱仪载气调节（0.1-10mL/min微流量）
环境模拟实验（温湿度联动控制）
| 温度 | 压力规格 | 精度 | *小F.S. | *F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
关键性能指标
参数标准型号高性能型号
量程范围0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重复性±0.2% FS±0.1% FS
响应时间<1s<300ms
工作压力0.1-0.5MPa真空-10MPa
温度系数±0.05%/℃±0.01%/℃
LINTEC（琳得科）是一家全球*的高性能胶带、粘合材料及功能性薄膜制造商，部位于日本，成立于1954年。凭借过半个世纪的技术积累与创新，LINTEC已成为电子、汽车、建筑、印刷包装等行业的核心材料供应商，以*的产品质量和*的解决方案闻名。