ULVAC爱发科 机械增压泵 PMB100D
ULVAC爱发科 机械增压泵 PMB100D
机械增压泵是一种可显著提高抽速的泵。
通过与油旋转真空泵或干泵等粗抽泵组合使用，在粗抽泵抽速下降的压力范围内，可以显著提高粗抽泵的抽速。
应用于半导体工艺、真空蒸馏、真空封装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞测试、太空探测、真空浸渍、真空干燥等众多领域。
通用型机械式增压泵
“型号：PMB Ver.D”是通用型机械式增压泵。
可选择可选的表面处理和常压驱动类型，也可以进行风冷运行。
长处
配备用于空气冷却的变频器，可在整个压力范围内进行风冷作。
由于它与可从多电压电机（200V 级、多电压）中选择的通用电机兼容，
因此也可以安装防爆电机（可选）。
表面处理具有优异的耐腐蚀性（选项：T 型）
主要部件经过阳极氧化处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。 减少泵内部的划痕和腐蚀。
由于可以同时使用常压驱动型（选项：变频器）
粗抽泵同时启动，可有效缩短排气时间，因此与标准型相比，可以缩短排气时间。
除了针对特殊应用的标准可选支持
外，还提供用于特殊应用的型号。
用
气相沉积、溅射、离子镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析仪器， 泄漏测试设备
气体置换、填充、真空绝热
热处理炉、熔炼炉
其他真空设备
| 型号 *1 |
|
PMB100D | PMB300D | PMB600D | PMB1200D | PMB2400D | |||
| *抽速 | 50 赫兹 |
m3/h （升/分钟） |
95 （1,580） |
280 （4,670） |
500 （8,330） |
1,000 （16,667） |
2,000 （33330） |
2,500 （41,667） |
|
| 60 赫兹 |
115 （1,920） |
330 （5,500） |
600 （10,000） |
1200 （20,000） |
2,400 （40,000） |
3,100 （51,667） |
|||
| *吸入压力 | 50 赫兹 | 帕 | 9.3×103 | 1,2×103 | 1.3×103 | 2.0×103/8.0×102 | |||
| 60 赫兹 | 6.2×103 | 9.3×102 | 1,1×103 | 1.5×103/6.7×102 | |||||
| *允许压差 | 50 赫兹 | 帕 | 8.0×10 元3 | 4.0×103 | 7.3×103 | 3.5×103/4.7×103 | |||
| 60 赫兹 | 5,6×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | 3.0×103/4.7×103 | |||||
| 极限压力 *2 | 帕 | 4.0×10-1 | 6,7×10-1 | ||||||
| 可驱动压力 | 帕 | ~1.0×105 （常压驱动） | |||||||
|
电机 *3 |
电机功率 （位数） |
kW （位数） |
0.4(2) | 0.75(2) | 2.2(2) | 3.7(2) | 7.5(2) | ||
|
200V 级 电机 |
50 赫兹 | V | 200 | ー | |||||
| 60 赫兹 | 200/220 | ー | |||||||
|
多电压 电机 |
50 赫兹 | V | 220~240/380~415°C | 200~240/380~415°C | |||||
| 60 赫兹 | 208~240/380~460°C | 200~240/380~460°C | |||||||
| 使用油 *4 | ULVOIL R-42 | ||||||||
| 所需油量 | L | 0.35 | 0.7 | 1.5 | 1.9 | 4 | |||
| 冷却系统 *5 | 风冷 | 风冷/水冷 | |||||||
| 冷却水 | 入口压力 | Mpa | ー | 0.3 | |||||
| 入口压差 | Mpa | ー | 0.05 | ||||||
| 冷却水量 | 升/分钟 | ー | 2 | 3 | |||||
| 冷却水温度 *6 | °C | ー | 5~30 | ||||||
| 进气口 JIS-B-2290 | VG50 等效值 | VG80 等效值 | VG100 等效值 | VG200 等效值 | |||||
| 排气孔 JIS-B-2290 | 相当于 VF50 | 相当于 VF80 | 相当于 VF200 | ||||||
| 质量 | 公斤 | 26 | 51 | 82 | 115 | 260 | |||
| 标准辅助泵 | VD40C 系列 | VD60C 系列 | VD90C 系列 | VS2401 系列 |
PKS-070B 系列 |
VS650B 系列 | |||
| 国际标准 | CE、cTUVus |
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常压驱动逆变器规格 / 电压兼容 |
200V 级 |
I2，A2/200V~240V（50Hz/60Hz） *8 | |||||||
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400V 级 |
I4，A4/380V~480V（50Hz/60Hz） *8 | ||||||||
