ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 RDA-501H

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 RDA-501H

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 RDA-501H

多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。

在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 *常见的泵是罗茨干式真空泵。

通过在低温范围内平衡泵体的热量，它是 PVD 工艺抽真空的理想泵，尤其是在制备和取出室中，缩短泵送时间以提高吞吐量非常重要。

长处

实现与干式和油动力旋转真空泵相同的性能水平。

它可以在从大气压到到达的所有压力区域运行。

耐水蒸气。

无需冷却水。

一个型号可支持单相和三相电源。

没有滑动部件，使用寿命长。

用法说明

1

吸入粉末、产品可能会损坏泵。

请使用吸尘器。

2

吸入爆炸性、易燃性、有毒、腐蚀性和有机溶剂气体等有害气体可能会因气体本身、爆炸、着火等原因导致泵故障。

3

该泵仅供室内使用。

请勿将产品安装在会暴露在雨中或水中的地方，或安装在室外。

ULVAC（爱发科）是日本*的真空技术和精密设备制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业，ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域，为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。