ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10-LR90

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10-LR90

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10-LR90

多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。

在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 *常见的泵是罗茨干式真空泵。

“Model：ECO-SHOCK”是一个划时代的附件，当连接到您当前的干式真空泵时

，它可以显着节省干泵的能源。

长处

有助于节能将干式真空泵的功耗降低

高达 80%（与本公司相比），

还具有抑制干泵发热的作用，可降低空调设备的功耗。

* 不能用于排放易燃、易燃、有毒气体等的泵。

提高干泵的性能提高极限压力性能降低

排气噪音降低排气速度在连续运行时间不过

1000 Pa 的应用中实现

高效率

*可安装在排气口抽真空没有问题的干泵上。

易于安装

用

干式真空泵用于抽空空气、氮气和氩气等惰性气体

用于溅射制备室和取出室的干式真空泵

ES10 系列

ULVAC（爱发科）是日本*的真空技术和精密设备制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业，ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域，为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。