ULVAC爱发科 油扩散泵 PBL-10
ULVAC爱发科 油扩散泵 PBL-10
油扩散真空泵蒸发加热的油以产生油蒸气。 这种油蒸气通过喷嘴高速注入并与气体分子碰撞。 碰撞的气体分子在油蒸气流中向排气口移动，从而产生真空。 这个过程非常有效，尤其是在需要高真空的应用中。
油扩散真空泵可以实现 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空，与其他高真空泵相比，安装经济上容易，初始成本低，并且由于结构简单，具有可靠性和耐用性，可长期提供稳定的性能。 它广泛应用于研发等各个领域。
爱发科的 PBL 型油扩散喷射泵是一种在中等真空范围内可以提高抽速的扩散泵。
它耐异物污染，自发布以来多年来一直受到光顾。
长处
10-1抽速是 PA 范围内的*值。
PBL-02~PBL-04 型号的本体（气缸）使用不锈钢。 因此，释气少，容易获得高真空，耐腐蚀性*。
与卧式喷射泵相比，工作范围向低压侧移动了大约一个数量级，但相同直径的抽速要大得多，抽速特性也非常*。 它是中等压力油旋转真空泵、机械增压泵和油扩散泵的理想泵，并且占地面积小。
PBL-06~PBL-20 型的大型泵由于管道加热器直接浸入液压油中，因此具有特别优异的热效率。
| 型 | PBL-02 系列 | PBL-04 | PBL-06 系列 | PBL-10 | PBL-14 | PBL-20 系列 | |
| 抽速 | 80 升/秒 | 200 升/秒 | 500 升/秒 | 1800 升/秒 | 4000 升/秒 | 7000 升/秒 | |
| 极限压力 *1 | 2,7×10-2 帕 | ||||||
| 临界背压 | 40 帕 | ||||||
| 开始时间 | 20 分钟 | 30 分钟 | 30 分钟 | 40 分钟 | 50 分钟 | 60 分钟 | |
| 液压油 | ULVOIL B-6 | ||||||
| 油量 | 0.1 升 | 0.6 升 | 7.5 升 | 18 升 | 36 升 | 90 升 | |
| 水温 | 19~25°C | ||||||
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冷却水（ 尺寸×系统数量） |
遥控 1/8×1 | 遥控 1/4×1 | 遥控 3/8×2 | 遥控 1/2×2 | 遥控 1/2×3 |
RC 1/2×3 RC 3/8×1 |
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| 冷却水量 | 1.5 升/分钟 | 5 升/分钟 | 8 升/分钟 | 12 升/分钟 | 18 升/分钟 | 25 升/分钟 | |
| 电压规格 | 200V / 1φ | 200V / 3φ | |||||
| 电源要求 | 0.44 千瓦 | 1.8 千瓦 |
2 x 4 kW 2kW × |
2 x 8 kW 4kW × |
11 kW 5.5kW×2pcs |
3 x 18 kW 6kW × |
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| 加热器类型 | Card Ridge 加热器 | 电加热器 | 管道加热器 | 管道加热器 | 管道加热器 | 管道加热器 | |
| 辅助泵 *2 |
VD201/VD30C PVD-360 系列 |
PKS-016 VS1501 |
PKS-030 VS2401 |
PKS-070 （PMB600D+PKS-030）（ PMB600D+VS1501） |
PMB1200D+PKS-030 PMB1200D+VS1501 |
PMB-040C+PKS-070 （PMB2400D+PKS-070） |
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| 外径 *3 | 一个 | 100 毫米 | 150 毫米 | 200 毫米 | 300 毫米 | 340 毫米 | 510 毫米 |
| B | 70 毫米 | 112 毫米 | 152 毫米 | 346 毫米 | 548 毫米 | 422 毫米 | |
| H | 463 毫米 | 524 毫米 | 973 毫米 | 1321 毫米 | 1687 毫米 | 2320 毫米 | |
| 进气口 | VG50 系列 | VG100 系列 | VG150型 | VG250 系列 | VG350型 | VG500 系列 | |
| 排气口 | 3/4B 软管口 | VG40 系列 | VG50 系列 | VG80型 | VG100 系列 | VG200 系列 | |
| 质量 | 6 千克 | 17 千克 | 86 千克 | 198 千克 | 313 千克 | 495 千克 | |
| 油位计 | 没有 | 没有 | 仪表杆 | 仪表杆 | 仪表杆 | 仪表杆 | |
| 恒温器选项 | 没有 | 没有 | 没有 | 没有 | 没有 | 没有 | |
ULVAC（爱发科）是日本*的真空技术和精密设备制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业，ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域，为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。
