ULVAC爱发科 油扩散泵 DPF-050

发布时间:2025-07-02

ULVAC爱发科 油扩散泵 DPF-050

ULVAC爱发科 油扩散泵 DPF-050

油扩散真空泵蒸发加热的油以产生油蒸气。 这种油蒸气通过喷嘴高速注入并与气体分子碰撞。 碰撞的气体分子在油蒸气流中向排气口移动,从而产生真空。 这个过程非常有效,尤其是在需要高真空的应用中。

油扩散真空泵可以实现 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空,与其他高真空泵相比,安装经济上容易,初始成本低,并且由于结构简单,具有可靠性和耐用性,可长期提供稳定的性能。 它广泛应用于研发等各个领域。

这是一种真空泵,通过以音速从喷射部分注入加热并转化为蒸汽的油来抽空油。 它是风冷式的,不需要冷却水。

ULVAC爱发科 油扩散泵 DPF-050

长处

它是风冷式的,不需要冷却水。

*的极限压力。

获得较大的抽速。

它体积小、重量轻且价格低廉。

规范

项目 单位 50 赫兹 60 赫兹
运行抽速 L/sec 50 50
极限压力 1.0×10-5
电机功率 W 250 
使用的油
SY 系列
油量 毫升 20 
质量 公斤 1.8 
进气口和排气口 毫米 VG-25型
环境温度范围 °C 7~40
*尺寸 毫米 93(宽) × 141.6(长) × 171(高)
ULVAC(爱发科)是日本*的真空技术和精密设备制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业,ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域,为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖:
真空设备:干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术(PVD/CVD):用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备:溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器:X射线光电子能谱仪(XPS)、电子显微镜等。
新能源与显示技术:OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。

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