库号:D402533
设备主要参数:
1、电压 220V ;功率:600W;
2、加热方式:设备对卡盘片托本身直接控温,硅片等物品与片托热交换速度约 1-3 秒;
3、固定方式:默认卡盘,(吸盘可商议,可能有温度热量的损失)
4、物品尺寸:默认直径 30 毫米,(其它尺寸定制商议);
5、温度控制方式:±1 摄氏度控温(气流相对静止时),卡盘片托本身直接快速升至工艺温度;
6、可编程速度控制,5 段速度,12 组参数记忆,
7、转动范围:默认 100-3000 转速范围,商议(100-5000 转苏范围) ;
8、加速度 100-3000 转每秒,根据物品重量,适当降低加速度,
9、加温时间控制:1-9999 秒,闲置时关闭加热模块;
10、主机外形尺寸 ∶长度 400mm×宽度 250mm×高度 350mm;
设备主要参数:
1、电压 220V ;功率:600W;
2、加热方式:设备对卡盘片托本身直接控温,硅片等物品与片托热交换速度约 1-3 秒;
3、固定方式:默认卡盘,(吸盘可商议,可能有温度热量的损失)
4、物品尺寸:默认直径 30 毫米,(其它尺寸定制商议);
5、温度控制方式:±1 摄氏度控温(气流相对静止时),卡盘片托本身直接快速升至工艺温度;
6、可编程速度控制,5 段速度,12 组参数记忆,
7、转动范围:默认 100-3000 转速范围,商议(100-5000 转苏范围) ;
8、加速度 100-3000 转每秒,根据物品重量,适当降低加速度,
9、加温时间控制:1-9999 秒,闲置时关闭加热模块;
10、主机外形尺寸 ∶长度 400mm×宽度 250mm×高度 350mm;
设备主要参数:
1、电压 220V ;功率:600W;10、主机外形尺寸 ∶长度 400mm×宽度 250mm×高度 350mm;