多级罗茨型干泵

多级罗茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。
在FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高良率和可维护性。*代表性的泵是罗茨式干真空泵。

多级罗茨式干真空泵在称为外壳的盒子内有两个三叶转子，它们通过一对齿轮以相同频率沿相反方向旋转。转子彼此不接触，或者转子与壳体不接触，并且在保持小间隙的同时旋转以传送和压缩气体。转子具有多级结构，将其压缩至大气压，并将其排放到大气中。转子外壳内不使用油或其他密封液体，可实现清洁排气。齿轮和轴承使用油进行润滑，但设计了密封结构以防止油进入壳体。

通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

特点

• 高温区域均热化
  实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
  “Model:UR”可比“Model:HR”更加高温化。

• 氦气密封
  通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

• 瞬停对策
  采取了1000msec以内瞬停对策。

• *的耐腐蚀性
  主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

• 通信功能
  可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。

用途

• CVD装置

• 蚀刻装置

• 灰化装置

• ALD、ALH 等

规格

型号			HR60		HR90		HR300		HR600		HR1200
使用泵	干式真空泵		HR60		HR90		HR60		HR90		HR90
	机械增压泵		-		-		PRC-003A		PRC-006A		PRC-012A
* 排气速度	50Hz	m3/h (L/min)	62(1030)		112(1860)		359(5,980)		653(10,900)		1,012(16,900)
	60Hz	m3/h (L/min)	80(1333)		126(2100)		365(6,080)		701(11,700)		1,051(17,500)
到达压力		Pa	5				0.67
*排气压力 （吸入圧力）			大气压 *1
*排气压力 （吸入圧力）		Pa	1~ 大气压
吸气口 (CE规格)			VG50(KF50)		VG80(KF50)		VG80(KF80)				VG100(KF100)
排气口			KF40
质量		kg							0		420
电源	三相	VAC (Hz)	200(50/60), 220(60)
电流值	稳定时	A	7.1 (at 200V)		11.2 (at 200V)		7.8 (at 200V)		12.9 (at 200V)		15.4 (at 200V)
	*值	A	7.3 (at 200V)		11.8 (at 200V)		8.1 (at 200V)		13.8 (at 200V)		18.9 (at 200V)
冷却水一次圧力		MPa	0.1~0.3
冷却水出入口压差		MPa	>0.1
冷却水流量		L/min	>5.0
吹扫气	一次压力	MPa	0.1~0.5
	二次压力	MPa	0.05~0.1
N2吹扫	轴	SLM	5
	气镇	SLM	0~45

*1 HR300、HR600、HR1200请勿在200Pa以上的吸入压力下连续运转。

尺寸图

HR60	HR90
HR180	HR300
HR600	HR1200