干泵"Model:GR"是以获得良好业绩和信赖的"Model:LR/HR"为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。
GR60
GR90
GR180
可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。 适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。 感应电机可通用 可以安装防爆电机等特殊电机（可选） 采用多电压兼容电机特点
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气 各种成膜设备放入取出室的真空排气 真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业 真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充用途
*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。 GR60 GR90A GR180规格
型号 GR60A GR90A GR180A *排气速度 50Hz m3/h(L/min) 62(1030) 112( ) 60Hz m3/h(L/min) 80(1333) 126(2100) 237(3850) 极限压力 *1 Pa 5.0 *排气压力（吸入圧力） 大气压 *排气口压力（排出圧力） Pa 1.0 ~ 大气压 吸气口 VG50 VG80 排气口 NW40 DRP表面处理 〇 电机 输出 [kW] 2.2 3.7 7.5 电压 [V] 50Hz 200~240/380~415 60Hz 200~240/380~460 质量 kg 128 188 268 冷却方式 冷却水
一次供给压力MPa 0.1~0.3 冷却水
出入口压差MPa >0.1 冷却水温度 ℃ 10~30 *2 冷却水流量 L/min >5.0 氮气 一次侧
供给圧力MPa 0.1~0.5 二次侧
调整圧力 *3MPa 0.05 to 0.1 (运作时) 轴 SLM 5.0 *4
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。配件
型号 材质 表面处理 重量(kg) 法兰接口 GR60A GR90A GR180A 消音器 RS-01+
套件ASUS304 GBB处理 4.1 KF40 〇 〇 - RS-01+
套件CSUS304 GBB处理 8.3 KF40 - - 〇 排气速度曲线
尺寸图
