百级电子洁净车间检测 方案--安衡检测
电子无尘车间后,为电子无尘车间空调净化系统软件的电加热器出示空气清新和过热关闭电源维护(假如应用点增湿器,应出示没有水维护)。严寒气温地区应是新鲜空气系统出示防寒保障措施。
风速风量和换气次数的检测:主要是测试洁净室或洁净设施的送风量、平均风俗、送风均匀性、气流流向及流型等项目。无菌车间内的洁净度主要是靠洁净空调送入足够量的经过过滤的洁净空气,将室内的产生的不洁净空气稀释、替换掉。而换气次数越大,越能加快车间内不洁净空气的稀释速度,从而更快的提高车间内的洁净度。至于车间内要维持怎样的风速风量和换气次数要根据洁净度来设置。
电子洁净车间检测 噪声控制: 动态检测时,万级无尘室内的噪音级不得出70分贝A。
适用场景:洁净生产用房,空调冷冻机房,纯水和气体净化站,人员、物料净化用房
噪声:一般情况下可只检测:A声级的噪声,必要时可采用带倍频程分析仪的声级仪,按中心频率63、125、250、500、1000、2000、4000、8000Hz的倍频程检测,测点附近1m内不应有反射物。声级计的小刻度不宜低于0.2dB(A)。测点距地面高度1.1m。面积在15m2以下的洁净室,可只测室中心1点,15m2以上的洁净室除中心1点外,应再测对角4点,距侧墙各1m,测点朝向各角。当为混合流洁净室时,应分别测定单向流区域、非单向流区域的噪声。有条件是,宜测定空调净化系统停止运行后的本底噪声,室内噪声与本底噪声相差小于10dB(A)时,应对测点值进行修正:相差(6~9)dB(A)时减1dB(A),相差(4~5)dB(A)时减2dB(A),相差3dB(A)时减3dB(A),相差小于3dB(A)时测定值无效。
目前对于大规模集成电路生产车间空调系统具有以下特点:1、大规模集成电路工艺布置多采用开放环境结合微环境的方法,在保证产品质量的同时,还可达到减少建设投资、降低运行费用的目的。
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